高纯氢氟酸
公司有先进的高纯氢氟酸、工业氢氟酸生产条线。
英文名 hydrofluoric acid，分子式 HF，分子量 20.01。为无色透明液体，相对密度 1.15～1.18，沸点112.2℃，在空气中发烟，有刺激性气味，剧毒。能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应，生成各种盐类。腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇，难溶于其他有机溶剂。
高纯氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，主要应用于集成电路（IC）和超大规模集成电路（VLSI）芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前，在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业，其它方面用量较少。
工业高纯氢氟酸
项 目 | 指标 | ||||
EL级 | UP级 | UP-S级 | UP-SS级 | ||
总酸度（以HF计）w/% | 49.0±0.5 | 49.0±0.5 | 49.0±0.2 | 49.0±0.2 | |
氟硅酸（H2Si F6）w /(mg/kg) ≤ | 50 | 50 | 30 | 30 | |
氯化物（以Cl计）w /(mg/kg) ≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
硝酸盐（以NO3计）w /(mg/kg) ≤ | 3 | 3 | 0.1 | 0.05 | |
磷酸盐（以PO4计）w /(mg/kg) ≤ | 1 | 1 | 0.1 | 0.05 | |
硫酸盐（以SO4计）w /(mg/kg) ≤ | 5 | 5 | 0.2 | 0.05 | |
铝（Al）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
砷（As）w /(μg/kg) ≤ | 200 | 10 | 1 | 0.1 | |
硼（B）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
钡（Ba）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
钙（Ca）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
镉（Cd）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
铬（Cr）w /(μg/kg) ≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
铜（Cu）w /(μg/kg) ≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
铁（Fe）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
钾（K）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
锂（Li）w /(μg/kg) ≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
镁（Mg）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
锰（Mn）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
钠（Na）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
镍（Ni）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
铅（Pb）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
钛（Ti）w /(μg/kg) ≤ | 100 | 10 | 1 | 0.1 | |
锑（Sb）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
锡（Sn）w /(μg/kg) ≤ | 20 | 10 | 1 | 0.1 | |
锌（Zn）w /(μg/kg) ≤ | 50 | 10 | 1 | 0.1 | |
颗粒 | （≥1.0μm）/（个/mL） ≤ | 25 | － | － | － |
（≥0.5μm）/（个/mL） ≤ | － | 25 | 5 | － | |
（≥0.2μm）/（个/mL） ≤ | － | － | － | 20 | |
